台積電3奈米新廠投資金額上看200億美元，
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，折合新台幣6，
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，000億元，
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，相對於最早的12吋廠建造成本，
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，已多上五、六倍，
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，最貴的還是設備，
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，因此外商受惠最多。而且，
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，昂貴的製造與設計成本，
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，未來也將樹立晶圓代工和IC設計的競爭門檻。台積電這幾年穩居國內投資大戶，
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，每年投資金額往往牽動政府當年度振興國內投資目標是否達陣的重要指標。在第一座12吋廠出現時，大多是以每座投資金額約1，000億元計畫。隨製程越來越先進，設備成本三級跳，政府原本估算是5，000億元，沒想到台積電自己提出的3奈米廠建造成本一口氣跳到200億美元，等於是新台幣6，000億元，是當年的六倍，也比政府預估的數字還高。從3奈米新廠結構來看，最貴的還是極紫外光（EUV）微影設備，每台要價高逾30億元。由於國內半導體設備自製率不像面板業那麼高。市場預期，台積電這座造價最貴的3奈米廠，獲益最多的應該還是外商為主。，